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真空等離子清洗機

簡要描述:真空等離子清洗機的作用原理主要是:等離子體中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質,而且會產生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

  • 產品型號:半導體SPA-100
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2021-12-13
  • 訪  問  量:2957

詳細介紹

品牌自營品牌產地類別國產
應用領域醫療衛生,環保,化工,電子

   SPV100真空等離子清洗機產品簡述

 ?。?.1)等離子清洗的作用原理主要是:

 ?。ˋ)對材料表面的刻蝕作用--物理作用等離子體中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質,而且會產生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

 ?。˙)激活鍵能,交聯作用等離子體中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,因此等離子體作用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂,等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀的交聯結構,大大地激活了表面活性。

 ?。–)形成新的官能團--化學作用如果放電氣體中引入反應性氣體,那么在活化的材料表面會發生復雜的化學反應,引入新的官能團,如烴基、氨基、羧基等,這些官能團都是活性基團,能明顯提高材料表面活性。



  (1.2)真空等離子清洗的優勢等離子清洗作為重要的材料表面改性方法,已經在眾多領域廣泛使用。

  與傳統的一些清洗方法,如超聲波清洗、UV清洗等,以下優點:

 ?。ˋ)處理溫度低處理溫度可以低至80℃、50℃以下,低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。

 ?。˙)處理全程無污染等離子清洗機本身是很環保的設備,不產生任何污染,處理過程也不產生任何污染。

 ?。–)處理效果穩定等離子清洗的處理效果非常均勻穩定,常規樣品處理后較長時間內保持效果良好。

 ?。―)可以處理各種形狀的樣品對于復雜形狀的樣品,等離子清洗都能找到合適的解決方案。真空等離子清洗更可實現對固體樣品內部位置進行清洗。






(1.2)產品原理等離子清洗機的結構主要分為四大部分組成:控制系統、激勵電源系統、真空腔體、工藝氣體系統、以及真空泵系統。

        (A)控制系統:控制系統的功能在于控制整個設備的運行,包括人機界面(觸摸屏)、PLC、電氣電路。采用全自動控制系統的真空等離子清洗,可實現多種模式多種程序對清洗設備進行控制,滿足不同客戶的需求。

 ?。˙)激勵電源系統:激勵電源主要有三類:40KHz的中頻激勵電源,13.56MHz的射頻激勵電源,2.45GHz的微波激勵電源。目前業界主要采用的是射頻激勵電源和中頻激勵電源。各自應用場合不同。

 ?。–)真空腔體:真空腔體主要是分為三種材質的:1)鋁合金腔體,2)不銹鋼真空腔體,3)石英腔體。根據用戶的不同需求,可實現不同的放電模式和適用不同的樣品尺寸和產能。

 ?。―)工藝氣體系統:SPV100真空等離子清洗機工藝氣體包括流量計、氣壓閥等,用戶可靈活選擇多路的工藝氣體方案,氬氣、氧氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等,可滿足不同工藝方案要求。清洗各種產品表面。

 ?。‥)真空泵:真空泵分為油泵、干泵、羅茨泵,油泵主要采用雙級旋片泵,根據用戶所采用的腔體體積、工作效率、環境要求來制定真空泵的方案。

(2.1)技術參數

電源系統

晟鼎定制射頻電源:頻率13.56MHz;功率0~600W可調;

全自動真空電容匹配器

真空系統

晟鼎定制雙級旋片泵(油泵):60m3/h

可選配晟鼎定制羅茨泵250m3/h

真空計:日本英??灯だ嵴婵沼?/span>

真空管路:全不銹鋼管路,以及高強度真空波紋管

腔體系統

(可定制)

鋁合金真空腔體,軍工級焊接密封,25mm厚度

腔體內部尺寸:450×450×500mm(寬×高×深)

電極板布置方式:水平布置,可活動抽取

工作托盤:可選配

空間層數:8層

氣體系統

氣壓閥,日本SMC

流量計,七星華創品牌,0~300SCCM

兩路工藝氣體:氬氣、氧氣

(氬氣、氧氣、氮氣、氫氣、四氟化碳可選)

控制系統

PLC,德國西門子S系列

觸摸屏,威綸通,七寸屏幕

電氣部件:德國施耐德品牌

其它參數

外形尺寸:890×1745×1000mm(寬×高×深)

重量:400KG

顏色:銀灰色


(2.2)尺寸參數





(3)性能優勢

(3.1)*電源:采用*高壓激勵電源電路技術,產生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果。

(3.2)全面安全防護:溫度安全防護功能,過載防護功能,短路斷路報警防護功能,各種誤操作保護功能。

(3.3)*放電技術:特殊處理及特殊結構的放電裝置,確保形成穩定均勻的等離子體。

(3.4)密封性的真空腔體設計:軍工級的高真空度真空腔體設計及制造工藝,配置進口真空泵。

(3.5)優質產品部件:產品全部部件采用國內外優質部件,確保設備性能優越

(3.6)超低清洗溫度:滿足不同場合溫度要求,不對清洗產品造成溫度影響。

(3.7)精密數控加工:進口精密CNC數控機床加工工藝,并配備進口三坐標測量儀進行質量監控。

(3.8)適用形狀復雜樣品:清洗各種復雜形狀的產品,包括內孔內壁,*均勻清洗


(4)案例及定制

















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